桌上型自动显影机MSD-200D用于对显影均匀性和一致性要求较高的表面处理工艺，适合硅片、磷化铟、碳化硅、氮化镓等。主要应用于4、6寸晶圆及方片.适合高校、研究所和企业客户。
本司也提供8寸、12寸桌上型显影机，更多功能如吹气、背洗等请咨询。
桌上型显影机技术规格：
|
项目 |
规格 |
|
主体 |
外壳材质:镜面不锈钢 处理样品尺寸：8寸晶圆以内 承盘:PTFE 马达: 转速：20-3000 R.P.M 摇臂：自动 操作界面：7寸触摸屏 |
|
显影装置 |
药液装置: 显影 *1（控温可选，也可选多路） DIW *1 N2*1 |
|
控制系统 |
系统: PLC 使用接口：7寸触屏 配方:手动和自动模式 编程 : 50 组 20 步 |
|
安全装置 |
晶圆承盘真空渗液保护: |
|
真空检知: 数字设定:真空值下限保护 运行结束报警提示 |
|
附件 |
真空泵x1 显影罐x1 去离子水罐x1 废液桶x1 真空吸盘x1 其它可选 |
其它：外宽可选择PP或者不锈钢
更多功能可咨询：如背洗、显影液控温、供液方式等。
https://www.chem17.com/st649911/product_39172048.html
http://www.congone-elec.com/SonList-2576796.html
