形貌仪设备是以白光干涉技术为原理

   日期:2026-05-28 09:42:41     浏览:0    
核心提示:  形貌仪设备是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。拒绝低效复检!用白光干涉仪的“模板复用"功能实现产线降本增
  形貌仪设备是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
拒绝低效复检!用白光干涉仪的“模板复用"功能实现产线降本增效
在追求效率的生产线上,检测环节的耗时往往是隐形成本的重灾区。很多企业不仅面临人工操作误差,还要应对繁琐的参数设置。
引入白光干涉仪,将为您的企业带来显著的投资回报(ROI):
1.批量分析效率提升8倍:设备支持“模板复用法",针对同类型产品,只需将测量参数和分析步骤保存为模板,后续检测直接调用,效率提升8倍以上 。
2.一键启动,无人值守:通过编程测量法,预先配置全流程指令(采集、处理、分析),实现生产线上的“一键启动"高效检测,大幅降低人力投入 。
3.减少废品损耗:台阶高度测量重复性可达0.08%~0.1% ,高精度的测量意味着更少的误判和返工,直接降低了高价值样品的报废率。
从半导体晶圆到3C玻璃屏,白光干涉仪如何实现“无损"精准检测?
在半导体制造、3C电子加工及光学元件研发等领域,表面粗糙度的微小偏差都可能决定产品的z终性能与良率 。然而,传统的接触式测量往往面临划伤样品、无法测量微观复杂结构的痛点。
白光干涉仪(光学3D表面轮廓仪)凭借非接触式测量优势,为您提供覆盖多行业的解决方案:
1.半导体领域:针对超光滑硅晶片表面,设备可实现0.1nm及以下的z小可测粗糙度 。非接触式原理避免了探针划伤风险,即使是0.2nm级别的超光滑表面也能实现“无损伤精准扫描" 。
2.3C电子与光学:无论是3C玻璃屏的触控灵敏度关联测量,还是光学镜片的超精密检测,都能依据ISO 25178标准自动计算出Ra、Rz、RMS等关键参数 。
3.微观复杂结构:利用Z向扫描模块与3D建模算法,设备能从底部到顶部逐层采集,精准还原纳米级的微观起伏 。
选择白光干涉仪,就是选择一种更安全、更精密的产品质量管控方式 。
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