ICP-MS(LabMS3000,LabMS5000)特点性能
一、国产科学仪器之光:莱伯泰科与LabMS系列ICP-MS
在全球科学仪器市场长期被海外品牌主导的格局下,莱伯泰科作为国内科学仪器行业的前列企业,凭借数十年的技术沉淀与创新突破,成功打破国外垄断,推出了具有自主知识产权的LabMS系列电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)。其中,LabMS3000与LabMS5000两款产品,不仅在技术性能上达到先进水平,更在半导体、环境、食品、医药等多个关键领域实现了国产化替代,为国内科研与产业发展注入了强劲动力。
(一)LabMS3000:国产ICP-MS的破局者
莱伯泰科推出自主研发的LabMS3000系列ICP-MS,这一成果标志着国产ICP-MS在半导体行业芯片生产线得到应用,打破了国外品牌在该领域的长期垄断。该系列承载了公司创始人胡克博士三十余年的质谱研发经验,历经数千次实验验证,在稳定性、灵敏度与易用性方面实现了多重突破,成为国内众多实验室与企业的核心分析设备。
(二)LabMS5000:旗舰级串联四极杆质谱
莱伯泰科在LabMS3000的技术基础上,推出了旗舰级产品LabMS5000ICP-MS/MS(三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪)。这款产品不仅是国内第二款串联四极杆ICP-MS,更凭借其干扰去除能力与超痕量检测精度,获得国际半导体产业协会SEMIS2和SEMIE78认证,成为先进制程半导体分析的核心设备,推动国产科学仪器向领域迈进。
二、性能参数:精准分析的硬核支撑
(一)LabMS3000:稳定可靠的多面手
LabMS3000系列ICP-MS涵盖3000a、3000c、3000s三个子型号,分别针对通用分析、临床医疗与半导体检测等不同场景优化设计,核心性能参数达到国际主流水平:
元素分析范围:覆盖7Li至238U,涵盖元素周期表中绝大多数金属元素与部分非金属元素,满足多领域元素分析需求。
检测限与灵敏度:采用高灵敏度检测器与稳定离子源,实现ppt级(10^-12g/L)检测限,部分元素检出限低至0.1ppt,能够精准捕捉样品中痕量杂质。
稳定性与精密度:短期稳定性(RSD)≤2%,长期稳定性(8小时)信号漂移≤5%,同位素比值精密度<0.1%,确保批量样品分析的数据一致性。
抗干扰能力:搭载第四代动能歧视碰撞池技术,有效消除多原子离子与双电荷离子干扰,如采用氦气碰撞模式可去除Cr、Ni等元素的ArN+、ArC+分子干扰,冷等离子体模式降低Na、Fe元素的背景噪声。
(二)LabMS5000:超痕量分析的旗舰之选
作为串联四极杆质谱仪,LabMS5000在LabMS3000的基础上实现性能跃升,专为超痕量与复杂基质样品分析设计:
双重四极杆分析系统:配备两套高性能四极杆质量分析器,结合新一代轴向加速六极杆碰撞反应池,通过MS/MS模式实现受控干扰去除,对同位素干扰的消除能力较单四极杆质谱提升100倍以上。
检测限:叠加高性能冷等离子体技术,背景等效浓度低至0.01ppt,部分元素检出限突破0.001ppt,能够检测先进制程硅片中的超痕量金属杂质(如Cu、Fe、Ni等元素含量≤1×10^10atoms/cm²)。
宽动态范围:检测器动态范围达到10^9,可同时分析样品中从痕量到常量的元素,无需多次稀释样品,提升分析效率。
快速扫描能力:扫描速度高达5000amu/s,在保证精度的前提下实现高通量分析,满足半导体Fab工厂24小时不间断检测需求。
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