一、光学膜厚传感器产品概述:

SRPV100光学膜厚传感器是一款应用于光伏TopCon产品Poly膜厚在线监控的传感器，紧凑集成化设计，操作简便，通过分析干涉形成的反射光谱，准确表征Poly薄膜厚度、光学常数等信息。

二、产品特点

可覆盖微绒面和抛光面应用场景；

对样品倾斜以及工作距离变化不敏感；

测量精度高；

高速测量；

丰富的工业测量经验。

三、测量原理

薄膜上下表面反射光由于相互之间的相位差增强或者减弱，相位差取决于光的波长和光程（等于薄膜光的往返距离×折射率），透明薄膜，光程差等于波长整数倍，反射相长。

四、应用领域

半导体制造

在半导体工艺中，需要精确控制各种薄膜（如氧化硅、氮化硅等）的厚度。光学膜厚传感器可以实时监测薄膜生长过程中的厚度变化，确保薄膜厚度符合集成电路制造的要求。例如，在化学气相沉积（CVD）或物理气相沉积（PVD）过程中，通过光学膜厚传感器反馈的信息，可以及时调整沉积参数，保证薄膜质量。

光学镀膜

对于光学镜片、滤光片等光学元件的镀膜，需要精确控制镀膜层的厚度。光学膜厚传感器可以帮助工程师在镀膜过程中准确地沉积所需的膜层厚度，以达到设计要求的光学性能，如透光率、反射率等。例如，在红外滤光片的制造中，通过光学膜厚传感器精确控制镀膜厚度，可以使滤光

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