半导体行业超纯水水质标准

半导体工业需要大量的超纯水，随着半导体工业的发展，对超纯水水质的要求日趋严格。当前半导体工业的超纯水的水质指标要求，甚至严格于我国国标电子水的z高标准要求，如微粒子，TOC，电阻率，溶解氧等。因此，相比于其他行业的超纯水，需要更加严格的深度处理技术，如深度处理颗粒物，有机物，深度脱盐，深度脱气技术等等。其部分参考标准如下：

ASTM-D5127-2007《美国电子学和半导体工业用超纯水标准》

中国国家电子级超纯水规格GB/T11446-1997

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