01 Better Reliability, Better Operation
内置两路气路，气体流量可调，无需再搭配，气体混合仪
真空等离子处理仪控制软件、操作简易，智能化设计，避免误操作
采用数字显示压力，实时观察腔体压力变化情况
中英文操作系统，触摸屏控制，人机界面友好
清洗时长可在触摸屏设置，等离子处理时间精确到秒(s)
PLASMA处理结束， 自动泄压，泄压时长和大小可调，可通入氮气泄压
功率高、 中、低三挡可调
02对标国际- -线厂 “家，补充国内技术短板
13. 56MHz频率用于PLASMA等离子处理
性能比肩一 -线产商，在控制自动化，人性化设计方面更方便、更简单
通入气体和泄压是独立通道互不干扰， 自动泄压比手动泄压更方便
腔体低温， 满功率运行30分钟腔体温度不高于32° C，不损伤样品
腔体材质为石英， 不与等离子体反应，**样品不被污染
13. 56MHz等离子体处理对材料既有清洁、刻蚀、也有活化改性作用
等离子体从腔体四周发出， 对样品处理更均匀、更充分
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