气体质量流量计【简称MFM】基于内部补偿型特有层流压差技术，内置压力和温度传感器，能充分补偿因温度和压力引起的体积流量和质量流量间的差异，可快速精确测量过程气体的实时温度、压力、工况流量、标况流量和累计流量五大参数。用于精确和快速测量气体流量、泄露率检测或作为标准表进行量值传递与校准等。

特征：

l 原理：层流压差式原理

l 便捷操作：可触屏点击操作、读取流量，或者提供上位机软件操作。

l 核心优势：高精度、高重复性、快速响应

l 宽温度、宽压力适用范围：-20℃~60℃、1Mpa以内

l 实时显示5种过程变量

l 内置49种气体，，一键自由切换气体，无需查找、输入系数，并可自主编辑混合气体

l 无需预热时间，开机即可使用，即插即用。

产品规格：

l 产品型号：

S系列-带触摸屏系列流量计，可触屏操作读取数据，方便工况现场使用，无需电脑，像手机一样方便。

M系列：无屏幕系列流量计，可通过上位机软件操作、读取数据，适用配套用户，软件可同时测控16台流量计或控制器。

l 量程范围：0.5sccm~5000slpm

性能参数：

l 精度：±1.0%RD , ± 0.5%RD

l 重复精度：±0.2%F.S.    ±0.1%F.S.

l 压力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa；    Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基准100KPa(绝压))

l 温度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；             Span：≤±0.02%F.S./℃（基准温度20℃）

l 工作范围：1%~120%F.S.

l 响应时间：≤100ms.

l 启动预热时间：1s

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