供气系统的主要特点:该(1路质子 2路浮子)是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比,也可根据实验需求加装洗气装置,质量流量计安装于密封的可移动机柜内,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。 本配比器适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气。尤其方便多种气体的切换使用,而不会造成大气进入加热管。气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观,实用,操作简便。流量显示准确,可有效地控制气体消耗量。所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接,便于维修拆卸。此款设备与BEQ品牌的各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。
贝意克主要从事实验室仪器设备的研发生产,主营各类型箱式炉、管式炉、CVD、PECVD、ALD、PVD磁控溅射、真空镀膜、薄膜制备、纳米材料制备装备、各种高精度真空箱以及各类非标定制,产品领域涉及科研、光电产业化、半导体、军工等高科技产业。
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